第九届长春微光刻技术交流会暨微光刻分委会国家标准专家讨论会

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第九届长春微光刻技术交流会暨微光刻分委会国家标准专家讨论会,已于2019年9月8至12日在中科院长春光机所学术交流中心举办并完满结束,利满科技和日本Litho Tech Japan (LTJ) , 德国GenISys 及Micro Resist Technology (MRT) 有幸赞助及携手合作出席并共同演示相关产品,以下为部分产品报告简述。


1.) 德国GenISys 专家~陈利奇先生 介绍相关软件如BEAMER, TRACER & LAB(光学光刻仿真软件)的相关功能与更新 & ProSEM (SEM图像自动检测分析软件的相关功能与更新。


2.) 日本 LTJ公司委托陳利奇先生分享,光刻胶顕影分析仪器RDA (Photoresist Development Analysis Instrument)。RDA分析仪器不祇限用于研发及生产,而且还对应光刻胶的质量管理、优化光刻胶使用工艺条件、对应客户投诉等。


3.) 利满科技~Mr. Raymond 李总 展示德国 Micro Resist Technology GmbH 一系列光刻胶及纳米压印胶等产品作介绍。

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