量度排气
Measuring Outgassing

光刻胶在曝光时候产生的排气(OUTGASSING) 会随机凝聚在stepper的滤镜上,这些杂质污染了滤镜对曝光结果产生不良影响,导致最终的图像转已出现严重偏差。

这问题也是近10年逐步被了解得较透彻,国外经验告诉我们排气问题不厘清,对IC厂、stepper生产商和光刻胶生产商三方同样做成困扰。

LTJ提供量度排气的技术和设备,在行业里可算享有领导地位。我们更为客户,如ASML设计完备方案应对排气问题。