光刻化学品(增粘剂/抗电荷剂) (Photoresist Chemicals) 微纳光刻增粘剂 (Microlithography Adhesion Promoter) - SurPass 电子束/电子扫描测量器(SEM) 抗电荷剂 (E-Beam/SEM Anti-charging Agent) - DisCharge

光刻化学品(增粘剂/抗电荷剂)
DisChem - Chemistry for Advanced Lithography















2. 电子束/电子扫描测量器(SEM) 抗电荷剂 (E-Beam/SEM Anti-charging Agent)



DisCharge 是一种抗电荷媒体, 用于电子束光蚀刻工序. 它可以防止电荷积聚于绝缘的基材上, 并有IPA(异丙醇) 及水基配方, 可达到最佳的光刻胶兼容效果. 也可用于SEM测量的非破坏性导电媒体.

技术数据表 (Technical Data Sheet):