虚拟光刻 (Virtual Lithography)

RDA 光刻胶显影分析仪 (Photoresist Development Analysis Instrument)

测量及分析光刻胶排气 (PR Outgas Measusing & Analysis)

曝光系統 (Exposure System)

PAGA-100 光至产酸剂去保护团反应分析仪 (PAGA-100 PAG Deprotection Reaction Analyzer)

树脂品质检定 (Resin Quality Inspection)

3合1 涂布/烘烤/显影 光刻胶小型实驗室 (3 in 1 Spincoat/Baking/Developing Robot unit. for Photorestist R&D)

半自动均胶及烘烤设备 (Semi-automated Spin Coater & Bake Plate System)

视频

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Litho Tech Japan

LITHO TECH JAPAN (LTJ) 是一间为日本、韩国、台湾的半导体行业贡献了超过20年的半导体技术研发公司。
LTJ尤在光蚀刻（photolithography）领域有超卓的地位。